产品特点: 采用频率为数十千赫兹的中频电源,配备经过严格磁路设计的孪生靶(对靶),可以避免“打火”、“阳极消失”、“靶中毒”等现象,提高了离化率、溅射速率,显著提高沉积速度,适合做化合物薄膜(如TiO2、TiN、TiC、TiCN、TiAlN等)的沉积。中频磁控离子镀膜机在近几年得到了迅猛的发展,在钟表、眼镜、五金等装饰度领域得到广泛的应用。 技术参数: 真空室箱体:主要规格有8001000mm、10001200mm,并可以根据客户具体要求设计非标产品。夹具方式:采用公自转行星式齿轮结构,工件速度在1-15转/分钟可调。控制气体方式:采用质量流量计控制,进气稳定,反应速度快。靶:采用整体制造技术,严格缜密的磁场设计和磁路布局,溅射刻蚀均匀。电源:配置有中频电源(20KW、40KW等规格)、直流脉冲电源(电压、占空比可调节),并可根据实际的情况加装离子源等辅助设施。抽气系统:采用国产品牌机械泵、罗茨泵、扩散泵,根据其真空室大小确定合理型号。也可以根据客户的需要配备分子泵或者进口泵等。抽真空参数:从大气抽至510￣3Pa15min极限真空度810￣4Pa。
欢迎来到佛山市南海区罗村艾特迈真空机械厂网站, 具体地址是广东省佛山市南海区南海区罗村联和工业区西区五路八号,联系人是余小姐。联系电话是0757-86406002,联系手机是13690177596,主要经营真空镀膜机,中频离子镀膜机,蒸发镀铝机,磁控镀铝机,多弧离子镀,真空镀钛机,磁控镀膜机,真空阀门,真空镀膜电源,工具镀膜机,瓷砖镀膜机,锁具镀膜机。单位注册资金未知。我们的宗旨是:“用的服务,使用户得到的效益,用的技术,为用户提供的产品”,选择我们,选择是您正确的决定!我们主要供应真空设备机械等,如果您感兴趣,可以来电咨询订购!
